幹膜工藝的常見故障解決
原因解決辦法
1、幹膜性能不良,超過有效期使用。盡量在有效內便用幹膜。
2、基板清洗不幹淨或粗化表麵不良,幹膜粘附不牢。加強板麵處理。
4、曝光過頭抗蝕劑發脆。用光密度尺校正曝光量或曝光時間。
5、曝光不足或顯影過頭造成抗蝕劑發毛,過緣起翹。校正曝光量,調整顯影溫度和顯影速度。
二、幹膜與銅箔表麵之間出現氣泡
原因解決辦法
1、貼膜溫度過高,抗蝕劑中的揮發成分急劇揮發,殘留在聚酯膜和覆銅箔板之間,形成鼓泡。調整貼膜溫度至標準範圍內。
2、熱壓輥表麵不平有凹坑或劃傷。注意保護熱壓輥表麵的平整,清潔熱壓輥時不要用堅硬、鋒利的工具去刮。
3、壓輥壓力太小。適當增加兩壓輥問的壓力。
4、板麵不平有劃痕或凹坑。挑選板材並注意前麵工序減少造成劃痕、凹坑的可能。
三、顯影後幹膜圖像模糊,抗蝕劑發暗發毛
原因解決辦法
1、曝光不足。用光密度尺校正路光量或曝光時間
2、照相底版最小光密度太大,使紫外光受阻。曝光前檢查照相底版。
5、顯影液溫度過高或顯影時間太長。調整顯影液脫落及顯影時的傳送速度
四、有餘膠
原因解決辦法
1、幹膜質量差,如分子量太高或塗覆幹更換幹膜。膜過程中偶然熱聚合等。
2、幹膜暴露在白光下造成部分聚合。在黃光下進行幹膜操作。
3、曝光時間太長。縮短曝光時間。
4、照相底版最大光密度不夠,造成紫外光透過,部分聚合。曝光前檢查照相底版。
5、曝光時照相底版與基板接觸不良造成虛光。檢查抽真空係統及曝光框架。
6、顯影液溫度太低,顯影時間太短,噴淋壓力不夠或部分噴嘴堵塞。調整顯影液溫度和顯影時的傳送速度,檢查顯影設各
7、顯影液中產生大量氣泡,降低了噴淋壓力。在顯影液中加入消泡劑消除泡沫。
8、顯影液失效。更換顯影液。
五、幹膜起皺
原因解決辦法
1、兩個熱壓輥軸向不平行,使幹膜受壓不均勻。調整兩個熱壓輥,使之軸向平行。
2、幹膜太粘。熟練操作,放板時多加小心。
3、貼膜溫度太高。調整貼膜溫度至正常範圍內。
4、貼膜前板子太熱。板子預熱溫度不宜太高。